電漿鍍膜技術已廣泛應用於半導體產業、平面顯示器產業、太陽電池產業以及生醫科技產業等薄膜沉積製程中，為21世紀先進製造的重要環節技術，更是現代科技產業研發的重心。

�s�i

此研討會課程將精闢解析矽薄膜太陽電池技術發展近況與趨勢，以及介紹應用於太陽電池薄膜沉積製程之各式電漿源，同時發表與分享大面積鍍膜與高密度電漿源的關鍵核心技術成果，包含太陽能製程設備之加熱溫度控制技術、鍍膜設備Shower Head氣流場3D分析技術、真空鍍膜設備之電控技術等，以期促進太陽光電鍍膜製程設備國產化的發展。

此研習冀望藉由太陽光電鍍膜技術的交流互動，建構產學研界更多共同合作的契機，俾有利於國內太陽電池產業Turn Key整合技術的掌握。