2001年09月07日 星期五	【科技日報報導】

台中精機廠公司多角化跨入發光二極體及半導體製程設備用真空鍍膜設備領域研發後，現又進一步完成首台國產光學鏡頭、數位相機、投影機等光學真空鍍膜設備。

�s�i

台中精機指出，該公司所研發的真空鍍膜系統，主要為致力於真空光電半導體濺鍍(PVD)製程設備之專業設計及製造，與日本真空技術交流，並結合國內外相關機構共同研發，從事光電、半導體製程設備之設計及製造。

台中精機是在與日本LINTEC技術合作，在台灣設置第一家量產半導體製程設備用數位質流控制閥(Digital MFC)生產線後，即致力於發展高精密、全自動化高真空鍍膜系統。首先完成的是液晶顯示器(LCD)光電鍍膜系統設備，如電子束及熱阻式蒸鍍機，可適用於光電、半導體產業金屬鍍膜或介電層鍍膜製程。

台中精機表示，光學鍍膜系統設備，是採全自動光學膜厚監控系統架構，全自動鍍膜層數最高可達60層，操控採可程式(PLC)人機介面多視窗系統，並可進行電腦輔助鍍膜分析與量測。