2019年10月31日 星期四	【科技日報報導】

太克（Tektronix）今天宣布為吉時利 4200A-SCS 參數分析儀推出兩個全新的電源量測設備(SMU)模組，即使應用因採用較長的電纜和複雜的測試設定而存在高負載電容，使用者仍可順利執行低電流量測。面臨此嚴苛挑戰的著名測試應用包括LCD顯示器製造和晶圓的奈米FET裝置測試。

吉時利 4200A-SCS 參數分析儀的模組非常適合包含高測試連接電容、不穩定的低電流測量等應用

全新的4201-SMU和4211-SMU專為使用長電纜、開關矩陣、Chunk的閘極觸點和其他治具的測試設定而設計。即使在待測裝置本身的電容極低的情況下，此類測試設定(許多低電流量測應用中常見的需求)也會增加SMU輸出端的電容。當測試連接電容過高時，最終的低電流量測結果就可能會變得不穩定。

為了應對這些挑戰，新模組可使用比傳統 SMU 更長的電纜或更大的連接電容來輸出電壓並量測電流。這將能為研究人員和製造測試工程師省下了原先耗費在疑難排解和重新配置測試設定上的時間和成本。

Tektronix 旗下的吉時利系統與軟體總經理Peter Griffiths表示：「現今的產品紛紛降低電流位準以節省寶貴的能源，但隨之而來的是，詳盡複雜的測試設定所產生的高負載電容即成為日益嚴重的問題，就如同測試最終用於智慧型手機或平板電腦的大型LCD面板的情況一樣。我們的新模組擅長進行穩定的低電流量測，並能立即使許多現有和未來的客戶受益。」

在最低的支援電流量測範圍內，4201-SMU和4211-SMU可輸出至比現今容量高1,000倍的電容系統並進行量測。例如，若電流位準介於 1 至 100 pA (picoamp) 之間，則全新的吉時利模組在高達1μF(微法拉)負載電容的情況下仍可保持穩定。相較之下，在量測穩定性下降之前，競爭產品所能承受的最大負載電容僅為1,000pF(picofarad)，足足相差了1,000倍。

使用者可以訂購4201-SMU和4211-SMU，並預先配置4200A-SCS以取得完整的參數分析解決方案，或針對現有設備進行現場升級。升級時，無需將設備送至服務中心即可輕鬆地在現場完成升級，節省數週的停機時間。

4200A-SCS是可自訂且完全整合的參數分析儀，可提供對電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快速脈衝I-V特性分析的同步詳細資料，進而加速半導體、材料以及製程開發和製造等程序。每部4200A-SCS可配置高達9個SMU，且系統的Clarius軟體使用者介面更提供了便利的「觸控-滑動」或「指向-點選」控制功能，可用於進階測試定義、參數分析、圖形化和自動化功能，讓使用者能輕鬆進行現代化的半導體、材料和製程特性分析。

4201-SMU和4211-SMU 模組現已在全球各地銷售。