2020年12月21日 星期一	【科技日報報導】

先進電源轉換、測量和控制系統解決方案開發商Advanced Energy Industries, Inc.宣佈推出一系列全新的MAXstream遠端電漿源(RPS)產品，適用於半導體晶片製程的反應室電漿清洗系統。MAXstream系列產品有多個不同型號，作業範圍非常寬廣，且電源準確度較高，具備優於同級產品的電漿噴射引燃能力，以及更高的穩定性。

Advanced Energy全新的遠端電漿源產品系列將技術進一步提升，例如新產品可確保半導體製程設備在多種不同流速的情況下仍能保持作業穩定，而生產力也有進一步的改善

Advanced Energy半導體產品副總裁暨總經理Peter Gillespie表示：「我們的客戶曾向我們表示市場上欠缺一款高效能而又穩定可靠的RPS產品，希望Advanced Energy能夠進軍這個市場，滿足業者的需求。我們順應時勢，實現他們的夢想。這系列全新的MAXstream產品不但為客戶的製程設備提供一個極具成本效益而又穩定可靠的RPS解決方案，而且還讓Advanced Energy因應市場趨勢，加快進軍這個近年少有創新技術出現但年銷售額約值1.5億美元的RPS市場。至今為止，這系列產品在市場上很受歡迎，對我們來說這是一個很大的鼓舞。我們在今個月內會繼續交貨予多個OEM客戶，預計會繼續取得亮麗的成績。」

MAXstream遠比競爭對手的RPS解決方案優勝，因為這款新產品的雙電漿源引燃核心採用完善的設計，確保電漿引燃時保持優於同級競爭產品的穩定性。由於每次分開出擊的引燃非常穩定可靠，令整個作業能保持其穩定性，減少壞機情況出現。MAXstream也充分利用Advanced Energy使用多年並證實有效的分離電漿源物料和相關技術，確保可延長製程反應室的壽命周期以及減少由此而產生的微粒。

Advanced Energy的MAXstream RPS產品可以輕易插入現有的RPS系統之中，以確保可與現有系統無縫銜接，方便換代更新。客戶只要取出一向表現不太理想RPS，改用MAXstream便可提高製程設備的生產力、效能和穩定性。他們也可獲得Advanced Energy提供優於競爭對手的全球服務和支援。Advanced Energy在世界各地設有十多間服務中心，為各地客戶提供現場服務和應用技術支援。

MAXstream產品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多個不同型號，每分鐘的氣體流量分別為3、6、8、10和12公升(liter)，讓客戶可以按照自己的製程，選用一款價格符合預算而又能充分發揮系統效能的型號。MAXstream 300適用於較低流量的製程(用於清洗的氣體每分鐘流量高達3公升)，外型則比高流量的型號更為小巧。

Advanced Energy遠端電漿源總經理Shaun Wilson表示：「幾乎生產每一種半導體晶片所採用的電漿製程都需要清洗反應室。我們今次推出MAXstream系列產品，為客戶的製程反應室清洗系統提供一個效能強勁、穩定可靠和具成本效益的解決方案。我們不但降低設備的壞機時間，而且還協助半導體業者滿足資料經濟圈的市場需求。」