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CTIMES / 半導體先進製程
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电子工业改革与创新者 - IEEE

IEEE的创立,是在于主导电子学的地位、促进电子学的创新,与提供会员实质上的协助。
先进制程迈入10nm以下时代 科磊推三款光罩检测系统 (2016.08.19)
随着半导体先进制程的推演,10奈米(nm)与7nm制程终露曙光;然而,先进制程须得搭配上更先进的光罩检测技术;晶圆检测设备制造商KLA-Tencor(科磊)看准了此一检测需求,针对10 奈米及7奈米制程,推出了三款先进的光罩检测系统,分别是光罩决策中心(RDC)、可供光罩厂使用的Teron 640,以及供晶圆厂操作的Teron SL655

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