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65奈米研發聯盟成立 加速台灣IC製程研發 (2002.12.03)
為加速我國65奈米IC製程的研發時程，並推動下世代半導體產業材料的技術整合，由工研院化工所號召，台積電、日產化學工業株式會社（Nissan Chemical Industries）、長興化工、永光化學、同步輻射中心為創始會員，共同籌組的「65奈米研發聯盟」 |
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無客戶支持 應用材料將獨往65奈米發展 (2002.10.30)
景氣長期低迷，使得12吋半導體設備市場不如以往看好，甚至有每下預況的情形出現。近日半導體設備供應商應用材料即對外坦承，12吋設備市場需求量不如1998年來得佳，幸而應用材料公司營運得佳，故以單打獨鬥的方式，在沒有合作夥伴的情況下，繼續往65奈米技術發展 |
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微影技術再添喜訊 157奈米突破瓶頸 (2002.09.20)
全球半導體技術聯盟於今年3月對外表示，157 奈米出現物性技術瓶頸，將延後半導體廠進入70奈米米製程的時程。但是近日舉辦的第三屆157奈米微影技術國際座談會，會中有專家指出 |
