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用於檢測裸矽圓晶片上少量金屬污染物的互補性測量技術 (2021.12.30) 本文的研究目的是交流解決裸矽圓晶片上金屬污染問題的經驗,介紹如何使用互補性測量方法檢測裸矽圓晶片上的少量金屬污染物並找出問題根源, |
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齒輪加工奠基 支援開發輕量化機器人 (2020.10.30) 對於所需關鍵零組件的一體化驅控模組、諧波減速機等陸續問世,奠基上游的齒輪加工產業重要性更不言而喻。 |
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諾發系統發表次90奈米電介質紫外線熱處理系統 (2006.01.05) 半導體沉積、表面處理和化學機械平整化製程廠商諾發系統(Novellus Systems),針對介電薄膜沉積後製程,推出獨立式紫外線熱處理(UVTP)系統。SOLA針對300mm晶圓量產而設計,可解決下一代消費性電子產品要求的新材料與製造技術需求 |
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