MEMS是一種微機電系統，而MEMS感測器則是透過微機電的製程，將微型電路與機械結構整合於同一晶片上，來進行感測功能的一種元件。MEMS技術透過半導體的光刻、腐蝕、薄膜等製程，來實現毫米甚至微米等級的感測器尺寸。也正由於採用的是半導體製程技術，使得MEMS感測器可以大量生產，且良率也穩定，也可以達到壓低生產成本的目的。

目前智慧電子產品已經成為市場趨勢，隨著智慧物聯網產品與整機製造市場的穩定帶動，對於感測器的應用需求開始偏向微型化、智慧化、低功耗、高整合、以及低成本，並且必須能大量生產。在這些條件下，MEMS感測器成為了解決市場需求的最佳解答，因此近年來也帶動了MEMS感測市場一波高速的發展契機。

MEMS感測器的多元應用
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