薄膜材料已大量应用于光电、半导体及生医等相关产业,由于薄膜之厚度极薄,因此其所展现之特性已迥异于巨观材料所展现之特性,再者,传统之机械性质量测方法已不再适用于量测薄膜之机械特性。
因此,此研讨会将邀请国内薄膜机械性质量测专家,介绍相关薄膜机械性质之量测方法,除了着重于奈米压痕薄膜机械性质量测技术外,亦将于会中介绍相关之薄膜机械性质量测技术,透过讲师精辟之讲解及现场实际示范操作,期使学员能对薄膜量测技术有更深一层之了解。
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