半导体制程的精密与高效率要求，驱动了对高纯度工业气体的庞大需求。亚东工业气体於华亚科技园区举行新厂动土典礼，未来该厂将专注供应超高纯度的氮气、氧气与氩气，成为半导体制程稳定运作的关键支援。

亚东工业气体总裁Olivier LETESSIER 与亚东商务暨业务开发协理 APINCHART

在半导体晶片的生产过程中，每一道制程都讲求极致的纯净与稳定性，尤其是在AI与高效运算推动下，先进制程更须仰赖电子级气体来维持品质与良率。氮气被广泛用於制程中的清洗与保护气氛，能有效防止氧化与湿气干扰；氧气则用於蚀刻、氧化等关键步骤，叁与薄膜的形成；至於氩气，则多被应用於离子注入与物理气相沉积（PVD）等程序，确保反应环境的稳定性与均匀性。

亚东工业气体长期深耕半导体产业，华亚基地自2012年起便持续提供高品质的电子级氮气与氧气，如今为因应AI浪潮带动的制程升级与气体用量成长，亚东选择在华亚科技园区原址扩建新厂。此投资专案为继2024年完成的司马库斯厂与观音二氧化碳回收设备後，最新启动的大型产能扩增计画。

新厂将导入最新模组化设备，不仅可大幅缩短建造时间，提升建厂效率，更具备高度营运弹性，可同时生产电子级氮气、氧气、氩气与液态氮。预期新厂启用後，将使华亚基地的电子级氮气供应能力大幅提升，整体制程效率更可提升约5%，有效强化客户端的生产稳定性与竞争力。

生产电子级气体的难度远高於一般工业气体，需经过层层精密净化与监控，以达到ppb（十亿分之一）等级的纯度。这对气体厂商的制程技术、设备管理与品质控管都是极大考验。

随着全球半导体产能加速扩张，对电子级气体的需求亦同步提升。亚东工业气体此次於华亚的扩建计画，不仅是对先进制程需求的回应，更展现其在台湾半导体供应链中不可或缺的角色。