艾司摩尔(ASML)与比利时微电子研究中心(imec)宣布,双方已经签署一项新的策略夥伴协议,聚焦研究与永续发展。
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ASML与imec签署策略夥伴协议 支援欧洲半导体研究与永续创新 |
该协议年限五年,目标是透过集结ASML和imec各自的知识和专业,在两大领域提供有价值的解决方案。首先,开发推进半导体产业的解决方案;其次,开发聚焦永续创新的研究倡议。
这项合作结合ASML完整的产品组合,尤其是开发高阶技术节点,采用包含0.55 NA和0.33NA 极紫外光(EUV)、浸润式深紫外光(DUV)、YieldStar光学量测设备以及HMI单光束与多光束检测技术。这些工具未来将安装在imec最先进的试验制程,并整合到由欧盟及法兰德斯政府资助的奈米晶片试验制程,为全球半导体生态系提供用来研发2奈米以下技术的顶尖基础设备。研发的焦点领域将会包含矽光子、记忆体与先进封装,在多元化市场为未来基於半导体的人工智慧(AI)应用提供完整的堆叠创新。
此次合作的新领域包含为imec研究流程中的创新发想与活动??注可观资助,这些创新带来环境与社会效益。
ASML执行长Christophe Fouquet表示:「这项协议表明ASML和imec长期合作的下一步,显现我们为半导体产业开发解决方案的共同志向,也符合我们针对未来会促使普遍社会受惠的科技和创新进行投资的策略。」
imec执行长Luc Van den hov表示:「我们期待持续发展与ASML独特的长期夥伴关系,在未来至少30年,为业界提供最先进的图形化解决方案。此次合作包含ASML完整的产品组合,藉此我们将能拓展并持续精进我们试验制程的性能,提供整个半导体生态系最顶尖的研发,以应对由AI驱动的技术发展所带来的挑战。imec高度重视永续创新,所以在此次合作特别强调包含这点是一大助益。」
ASML在这项合作的投资还有由晶片联合承诺(Chips Joint Undertaking)和法兰德斯政府(为了实现欧盟《欧洲晶片法案》奈米晶片试验制程)以及荷兰政府(作为一项欧洲共同利益重要项目,简称IPCEI)所提供的经费补助。
奈米晶片试验制程的采购及营运由晶片联合承诺(Chips Joint Undertaking)经由欧盟数位欧洲计画(Digital Europe)和欧洲展??计画(Horizon Europe),以及比利时(法兰德斯)、法国、德国、芬兰、爱尔兰和罗马尼亚这些成员国共同资助。
在imec启用0.55NA技术是Next Gen-7A项目(IPCEI22201)的部分,该项目由荷兰政府资助,为一项欧洲共同利益重要项目(IPCEI)。