根据市调机构The Information Network最新报告指出，2002年下跌8％的晶圆厂自动化设备市场，预估可在2003汰换潮将届之际将自谷底反弹，出现超过15％之成长幅度，达到5.02亿美元规模，且在2004年达到高峰。

The Information Network总裁暨分析师Robert Castellano指出，处理材料运输系统的晶圆厂自动化设备市场波动幅度极大，根据数据指出，该市场曾在1998年时下滑超过50％，而在1999年时仅回升6％，与同期全球半导体设备市场与IC市场成长率相比，成长幅度远远不及。

该市场在2000年时成长幅度曾超过80％，但然在2002年时又下跌8％，同期整体前端设备市场下滑26％，显示晶圆厂自动化设备市场成长时点与整体半导体市场颇不一致。

Castellano指出，由于全球晶圆厂自动化设备从2000年以来便处于低度投资的条件下，尽管目前大环境景气仍持保守，仍触动晶圆厂自动化设备汰换潮出现，预估2004年将可再成长26％；目前全球在晶圆自动化市场之前两大供货商，分别是市占率54％之Brooks Automation及市占率14％之Genmark。