据Digitimes报导，中国大陆上海地区的半导体群聚效应，亦吸引光罩业者纷纷进驻，集中于长江三角洲一带，包括外商杜邦、福尼克斯（Photronics）以及当地厂商中芯国际；其中福尼克斯已在上海张江园区投资建设光罩厂，并锁定上海地区的半导体晶圆代工厂为客户对象。

该报导指出，目前大陆自有的光罩技术大多仍在研究阶段，还未能进入商业化量产，因此大陆光罩市场中的厂商以杜邦、福尼克斯等外商为主。福尼克斯在上海张江园区所兴建的工厂总面积约1.8万平方公尺，投资金额为2900万美元，可提供到0.25微米制程的光罩，但主要产能集中于0.35微米以上制程。相对于福尼克斯，杜邦上海仅仅作为交易的平台，其产品和服务的提供则由台湾、新加坡厂商运作，并没有完成本土化。

相对于国际光罩厂在大陆的动作，大陆厂商也积极展开光罩产品开发与生产的动作，中芯国际已建设了光罩厂，但目前中芯国际所建设的光罩厂主要提供0.18微米制程产品。而根据中芯国际员工表示，中芯国际目前建设光罩厂及现在建设的测试服务项目，都将是针对中芯国际内部运作而用，并不​​会提供对外服务。

除中芯国际外，无锡也已拥有光罩厂，而投资建设光罩厂的则是华润集团。其光罩厂虽说已表示完全对外供货，但由于华润集团本身拥有包括无锡华晶这样的晶圆厂，故其产品开发也主要集中于0.5微米左右进行生产。由于大陆大量晶圆加工厂所生产的产品集中于0.35微米，故国外厂商看好大陆市场0.35微米及0.5微米制程。据福尼克斯上海人员表示，目前福尼克斯已经开发出65奈米光罩技术，但真正大范围应用于生产的则还是在0.18微米左右。