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Advanced Energy光纖溫度計確保先進製程溫度更準確
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2021年11月24日 星期三

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Advanced Energy致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計採用隨插即用的設計,只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領先市場的OR4000T,而且4100T的溫度測量準確度特別高,溫度範圍也較寬廣,加上內建的多條通道可同時進行讀取,讓讀取速度可以提升至最高水平,因此極適用於先進半導體和相連的薄膜應用。

Advanced Energy 關鍵感測技術及控制系統行銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高溫計一直獲多家半導體OEM大廠採用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先的 Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善,新功能也很多,讓客戶可將製程控制能力和生產力提升至高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品,讓現有的客戶可以輕易為系統換代更新。此外,這款高溫計也可支援EtherCAT、串聯和USB通訊介面。」

由於使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度,因此執行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少,這樣有助於縮小方案大小,也可節省系統成本。此外,每一通道的讀取速度可以高達1kHz,因此熱反應會更快,讓溫度可以更易受控,並確保先進應用的溫度更加一致,相關的應用包括快速熱處理、雷射退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發射可配置波長,因此其準確度、可重複性和可靠性都特別高,而且讀取速度也較快,適用於要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統的熱藕合和其他接觸式的感測器測量方法有時並不十分適用,例如直接接觸會令晶圓受損,也會產生污垢或因為受到熱轉移效應的影響以致出現測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現場測量溫度,準確度在正負1.5℃之內。此外,4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產生的問題,而且對於某些應用來說,例如,正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速度(ramp rate)研磨處理中的晶圓,4100T是個理想的解決方案。

關鍵字: 摩爾定律  先進製程  Advanced Energy 
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