經過三年的準備，國家奈米元件實驗室終於如期正式動土了。奈米實驗室主任施敏表示，3年前的9月1日奈米實驗室的指導委員會才通過此案，而後國科會才又通過9億元的經費，緊接著土地問題也努力求解決，整個案子歷經波折，才有今日的成果。施敏也說明，未來奈米實驗室將可每年提供產業2000個人才，實驗室將朝更前瞻的技術發展。

行政院國家科學委員會副主任委員黃文雄表示，由潤泰營造負責基地建設，奈米實驗室預計2004年完工，共計2年時間落成。施敏也表示，國科會雖然將提供9億經費予奈米實驗室，但是國科會有三個要求，一為必需為產學業界創造更多的人才；二則需為學業界從事分析研究等服務；第三是配合國家科技發展，從事更前瞻的研究；此三項要求，預計將可為電子工業創造30兆美元的產值，並且可提升國家競爭力。

另外黃文雄提到國科會也將成立國家實驗研究院，即把奈米實驗室、晶片系統中心、太空計畫室、實驗動物養殖中心、地震中心、高速電腦中心六大單位合為一個院區，除了將有效整合國內研究單位的資源外，未來運用人才將更有彈性，研究成果將更為茁壯。

奈米實驗室將建於交通大學校地裡，其基地面積約4100坪，總樓板面積超過一萬坪；此新建實驗室工程，實驗室主體工程部分，為地下兩層、地上五層之建築物，總樓板面積為4,000多坪。實驗室行政大樓主體工程部分，為地下兩層、地上10層之建築物，總樓板面積為7,000多坪，兩個主體工程總樓板面積超過11,000多坪，總經費四億餘元。