艾司摩爾(ASML)與比利時微電子研究中心(imec)宣布,雙方已經簽署一項新的策略夥伴協議,聚焦研究與永續發展。
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ASML與imec簽署策略夥伴協議 支援歐洲半導體研究與永續創新 |
該協議年限五年,目標是透過集結ASML和imec各自的知識和專業,在兩大領域提供有價值的解決方案。首先,開發推進半導體產業的解決方案;其次,開發聚焦永續創新的研究倡議。
這項合作結合ASML完整的產品組合,尤其是開發高階技術節點,採用包含0.55 NA和0.33NA 極紫外光(EUV)、浸潤式深紫外光(DUV)、YieldStar光學量測設備以及HMI單光束與多光束檢測技術。這些工具未來將安裝在imec最先進的試驗製程,並整合到由歐盟及法蘭德斯政府資助的奈米晶片試驗製程,為全球半導體生態系提供用來研發2奈米以下技術的頂尖基礎設備。研發的焦點領域將會包含矽光子、記憶體與先進封裝,在多元化市場為未來基於半導體的人工智慧(AI)應用提供完整的堆疊創新。
此次合作的新領域包含為imec研究流程中的創新發想與活動挹注可觀資助,這些創新帶來環境與社會效益。
ASML執行長Christophe Fouquet表示:「這項協議表明ASML和imec長期合作的下一步,顯現我們為半導體產業開發解決方案的共同志向,也符合我們針對未來會促使普遍社會受惠的科技和創新進行投資的策略。」
imec執行長Luc Van den hov表示:「我們期待持續發展與ASML獨特的長期夥伴關係,在未來至少30年,為業界提供最先進的圖形化解決方案。此次合作包含ASML完整的產品組合,藉此我們將能拓展並持續精進我們試驗製程的性能,提供整個半導體生態系最頂尖的研發,以應對由AI驅動的技術發展所帶來的挑戰。imec高度重視永續創新,所以在此次合作特別強調包含這點是一大助益。」
ASML在這項合作的投資還有由晶片聯合承諾(Chips Joint Undertaking)和法蘭德斯政府(為了實現歐盟《歐洲晶片法案》奈米晶片試驗製程)以及荷蘭政府(作為一項歐洲共同利益重要項目,簡稱IPCEI)所提供的經費補助。
奈米晶片試驗製程的採購及營運由晶片聯合承諾(Chips Joint Undertaking)經由歐盟數位歐洲計畫(Digital Europe)和歐洲展望計畫(Horizon Europe),以及比利時(法蘭德斯)、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞這些成員國共同資助。
在imec啟用0.55NA技術是Next Gen-7A項目(IPCEI22201)的部分,該項目由荷蘭政府資助,為一項歐洲共同利益重要項目(IPCEI)。