針對奈米產業之精密量測需求，均豪精密公司與工研院量測中心合作開發國內第一座商業用原子力顯微鏡，擁有量測奈米級的解析度，於日前完成，預計今年第二季出貨，可應用於半導體、光電及生技等領域。

近日展示第一台國人自行開發的原子力顯微鏡，均豪精密機械事業群總裁葉勝發表示，目前進口原子力顯微鏡，每台市價高達500萬元，為降低成本，台灣有自行研發原子力顯微鏡的必要。量測中心主任徐章表示，如缺乏量測儀器檢測，奈米技術無法獲得認證，這對正邁入奈米世紀的台灣而言，尤其重要。

葉勝發表示，有鑒於國內大多研究單位已具備光學顯微鏡，而且已熟悉光學顯微鏡系統操作。因此開發原子力顯微鏡探頭模組，除了容易安裝在既有的顯微鏡上，將解析度升級到奈米級的解析度，同時可減輕研究單位的負擔，免除採購進口原子力顯微鏡的高昂價位。