帳號:
密碼:
最新動態
產業快訊
CTIMES/SmartAuto / 產品 /
半導體新蝕刻技術問世
兼具環保、省成本、小體積等特色

【CTIMES/SmartAuto 陳瑩欣報導】   2002年06月21日 星期五

瀏覽人次:【2062】

自然期刊(Nature)20日報導,現在的製程使用光線或腐蝕性化學藥劑,在矽晶圓上蝕刻。全新的製程技術,則使用石英模具在熔化的矽上印刻。普林斯頓大學電子工程教授史帝芬‧周 (Stephen Y. Chou)說:「我們製程技術的優點,是能夠把體積縮小十分之一。」如果未來研究證實這種製程技術確實可行,將為半導體產業帶來創新。

史帝芬‧周的研究團隊已製造出140奈米的電路,並在報告中說明10奈米製程的相關細節。現行的蝕刻技術,最小製程為30 奈米到70奈米。使用傳統蝕刻技術製造單一晶片需時20分鐘,使用史帝芬‧周的新技術,只需四百萬分之一秒。

新製程的發展基礎是機械印刷。首先把電路刻在石英模具上,然後將石英模具放在矽晶圓上,再用雷射光熔化矽,就能將電路印在矽晶圓上。

史丹福大學電子工程教授皮斯(R. Fabian Pease)表示,1960年代半導體產業也曾嘗試類似的製程技術,但因持續出現瑕疵而放棄。他說:「但是這幾十年來,良率控製已有很大的進步。」史帝芬‧周將這項技術稱為雷射輔助直接印刷技術(LADI)。

關鍵字: 蝕刻技術 
  相關新聞
» MIPS賣身的背後 最大獲利者是誰?
» IEK:2015中國IC設計業將追上台灣
» [分析]台積電還能當多久的全球第一?
» 醫療電子怎麼吃 商機一次報你知
» 個人化需求增加 醫療電子邁向小型化、平價發展
  相關文章
» MachXO2控制開發套件優勢探討
» 在醫療儀器領域做創新的研發!
» 黏到每個角落:DELO
» 電子產品綠色節能技術論壇
» 使ESD保護跟上先進製程的腳步

刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3  v3.20.2048.52.14.252.16
地址:台北數位產業園區(digiBlock Taipei) 103台北市大同區承德路三段287-2號A棟204室
電話 (02)2585-5526 #0 轉接至總機 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw