平面磁懸浮輸送系統簡化敏感工件之運輸
XPlanar在電漿表面處理過程中運輸工件
作者\倍福(Beckhoff)提供
新型電漿處理裝置可取代先前用於輸送高敏感工件,並且不再需要安裝複雜的六軸機械手和線性電動機。
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