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讨论文章主题﹕推动2D/3D IC升级 打造绝无仅有生医感测晶片

文章 提要
随着半导体先进制程推进到2奈米（nm）之後，晶片微缩电路的布线与架构，就成为性能与可靠度的发展关键，而imec的论文则为2奈米以下的晶片制程找到了一条兼具可行性与可靠度的道路。

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