MEMS微機電技術越來越神奇！除了在矽晶圓上製作出機電結構外，現在更進一步能把音訊也整合在一起。日前，NIST展示了一款MEMS鼓，其直徑僅有15微米，100奈米厚，是用在量子資訊的實驗上，用以量測極精確的機電動態。相較於過去的奈米線技術，這種MEMS鼓在耐用性與精確度上都更佳優異。這項技術也被發表在Nature科學雜誌上。（圖/NIST）