Imec的研究人員日前展示了一種新的砷化鎵（SiGe）MEMS技術平台，能直接在CMOS製程上與MEMS產品整合，將可以改善目前最先進的MEMS產品性能。Imec所展示的新產品為一款以15毫米製程的MEMS微鏡片（micromirror）（如圖），能夠運用在高畫質的顯示器應用上。該裝置以6個創新的靜電驅動機械，達成超高的性能。（圖/Imec）