Imec的研究人员日前展示了一种新的砷化镓（SiGe）MEMS技术平台，能直接在CMOS制程上与MEMS产品整合，将可以改善目前最先进的MEMS产品性能。Imec所展示的新产品为一款以15毫米制程的MEMS微镜片（micromirror）（如图），能够运用在高画质的显示器应用上。该装置以6个创新的静电驱动机械，达成超高的性能。（图/Imec）