MEMS微机电技术越来越神奇！除了在硅晶圆上制作出机电结构外，现在更进一步能把音频也整合在一起。日前，NIST展示了一款MEMS鼓，其直径仅有15微米，100奈米厚，是用在量子信息的实验上，用以量测极精确的机电动态。相较于过去的奈米线技术，这种MEMS鼓在耐用性与精确度上都更佳优异。这项技术也被发表在Nature科学杂志上。（图/NIST）