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電漿技術是光電以及半導體工業的關鍵技術，同時亦廣泛應用在高分子工業、機械工業等方面。本課程主旨在探討電漿技術之學理、電漿反應器的設計原理，以及其在光電方面的應用，期盼提供相關科技產業從業人員或是學術研究單位，對於電漿製程原理與應用，有更清楚且深入的認識。