2014年05月12日 星期一	【科技日報報導】

隨著半導體產業不斷尋求朝20/14奈米製程發展之際，電子驗證測試產業-iST宜特科技在材料分析不缺席。iST宜特今(5月12號)宣布除了佈建目前業界EDS元素分析能力最強的TEM設備：JEM-2800外，更和成大微奈米中心進行材料分析技術開發合作，同時聘請該中心副研究員、國內頂尖TEM權威－鮑忠興博士擔任顧問，設備與技術能量一次到位。

左圖為宜特分析市面上最先進之「22奈米三維電晶體」的高解析TEM影像；右圖則為分析「LED磊晶結構」之高解析TEM及EDS影像。

即日起，iST宜特更採全天候三班制24小時運作，全面縮短交期，大躍進產能，展現衝刺材料分析的決心，提供客戶最快速且高端材料分析服務。

為了回饋長期以來支持iST宜特的客戶，即日起至6月底以前，只要來宜特委案TEM上機觀察分析服務，即享半價優惠。

iST宜特觀察發現，企業為了打造效能更高、功耗更低、體積更小的半導體元件以滿足現今智能產品之需求，各大廠在先進製程開發的腳步越來越快，包括Intel率先進入22奈米製程量產、台積電與三星陸續進入20奈米量產，而聯電則從28奈米跳過20，直接研發14奈米製程。

iST宜特材料分析經理 陳聲宇博士說明，先進半導體製程的開發是否到位，材料之結構與元素分析能力往往是關鍵，尤其當製程進入28奈米以下世代，許多傳統分析儀器將面臨瓶頸，此時可達原子級解析度的TEM將是分析上的唯一解決案。

除了在半導體產業的應用外，材料分析在LED產業亦扮演重要角色，決定LED發光特性最關鍵的磊晶製程，就必須高度仰賴TEM來控制製程參數。

陳聲宇進一步指出，在TEM各種應用中，近年來又以EDS元素分析需求最為強勁。iST宜特近期導入JEOL最高階的JEM-2800 TEM設備。同時配置有2顆100平方毫米的超大面積EDS偵測器，訊號接收總面積高達200平方毫米，效能遠超過業界先前最高階機型(其訊號收集面積為120平方毫米)，將會是客戶在面臨製程問題時的最好幫手。

「目前宜特已陸續完成各產業客戶，包括知名晶圓廠與LED磊晶廠的分析試樣，突破至14奈米製程，客戶對結果相當滿意。」陳聲宇表示。

宜特科技董事長 余維斌表示，宜特整兵備戰，積極拓展材料分析戰線，致力追求更先進的製程驗證能力，昂首闊步為客戶可能有的需求做好準備，成為客戶迎向成功的最重要伙伴。