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面对技术/市场微影设备发展加倍艰辛 (2002.10.29) 根据外电指出,全球微影设备市场将下降为32亿美元,出货量衰退达433台,比去年的45亿美元减少29%,出货量亦比去年的822台少了47%。事实上,有业者指出,目前微影发展不论就市场或技术来看,都面临一定的发展瓶颈-除了市值下降外,技术研发成本赤不断上升 |
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抢占领先地位欧、日巨资投资EUV技术 (2002.10.28) 自英特尔(Intel)名誉主席Gordon Moore于今年7月对外表示,唯有开发EUV(超紫外光线)技衖,摩尔定律才能再次回到二年一个周期的定律,根据外电消息,欧洲、日本为达到半导体技术领先的目标,不惜巨资投资开发EUV系统;众多欧盟成员国未来将对EUV各项领域,投资1亿美元研发;日本多企业也分别成立EUV计画小组 |
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