90/130奈米發展的瓶頸與挑戰
作者\謝馥芸
當半導體產業推進到100奈米以下時,物理極限的困難即接踵而至,使得業者紛紛提出的90奈米先進製程量產化,讓許多專家仍抱著觀望態度﹔加上130奈米製程中仍有許多未解的技術瓶頸,同樣也會成為90奈米的困境﹔這種種現象,即是本文想探討的問題。