12吋晶圓廠的自動化趨勢
作者\Roy Hunte,Chris Humphreys
全自動化晶圓廠的概念,隨著高生產力的300mm製造技術提升逐漸成型,由研發人員及設備製造商的緊密合作,為業界建立一套標準。本文分析全自動製造廠的規劃與組成因素,另提出製造廠自動化概念背後所會面臨的問題並作逐一的剖析與解釋。