65到45:半導體製程微細化技術再突破
作者\鍾榮峰
當半導體微細化製程從65奈米邁向45奈米、甚至晶片結構體尺寸將朝向32或是22奈米之際,我們將會面臨什麼未知的物理性質變化?為了追尋更微小體積、切割更多晶片的商業成本效益,我們的製程技術如何再進一步地去突破,會有什麼樣的材料正等待著我們去發掘?