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田中貴金屬工業開始接受100%應用RE系列製造Au接合線訂單 (2022.08.30) 田中貴金屬集團旗下經營製造事業的田中貴金屬工業子公司—從事各種接合線製造的田中電子工業,宣布除了原材料中含有從礦山直接產出的金(Au)既有產品之外,還將開始接受100%使用貴金屬回收再利用材料「RE系列」製造的金(Au)接合線的訂單 |
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田中貴金屬確立液體釕前驅物2段成膜製程 助10nm以下微縮 (2022.06.24) 田中貴金屬工業株式會社宣布,確立液體釕(Ru)前驅物「TRuST」的2段成膜製程。「TRuST」是前驅物,對氧和氫兩者具備良好的反應性,能夠形成高純度的釕膜。本製程是一種2段ALD成膜製程(ALD=Atomic Layer Deposition),先利用氫成膜形成較薄的防氧化膜,再以氧成膜實現高品質的釕膜 |
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