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聯電、DNP將為0.10微米光罩制定適當規格

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聯電今宣佈與大日本印刷株式會社(DNP)簽訂一項為期數年的協定,聯電將獲得DNP保障提供先進的光罩服務。此外,雙方將共同為0.10微米光罩制定適當之規格。

聯電表示,根據該協議,DNP將集中提供0.15/0.13微米製程世代的高階光罩予聯電,並強調採用先進且高品質的光學微距校正 (Optical Proximity Correction, OPC)相位移光罩(Phased Shift Mask, PSM)。至於0.10微米技術的合作開發,將由2家公司工程師組成技術研究團隊並制定此項高階製程的光罩規格,讓聯電客戶將來廣泛採用。

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關鍵字:光罩