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半導體生產技術加速演進 高純度氣體供應為成功基礎

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在現代半導體製造過程中,氮氣與氧氣扮演著不可或缺的角色。這些氣體不僅是半導體製造環境中重要的組成部分,更是確保製程穩定性與產品良率的關鍵。氮氣因其化學性質穩定,被廣泛用於提供無氧環境以避免氧化反應,並在製造過程中用於清潔與乾燥晶圓。而氧氣則常用於化學氣相沉積(CVD)及光刻製程中,用於形成氧化層或支援蝕刻反應。

近日,台灣主要工業氣體供應商聯華林德(聯華氣體)宣布與一家領導級半導體製造商簽訂長期供應合約,將為其位於台灣嘉義的新先進封裝廠提供電子氣體支持。該專案投資總額約新台幣62億元(1.9億美元),新廠預計於2025年8月正式投產。

根據聯華林德的規劃,此次專案將在嘉義建設並管理一套現場氣體生產設備,主要供應超高純度的氮氣和氧氣。這些設施不僅滿足半導體產業對氣體純度與穩定性的極高要求,還以其世界級的可靠性與運營效率為目標,進一步鞏固聯華林德在業界的領導地位。

隨著半導體技術不斷演進,製造過程中的氣體需求也日益增加。不論是在先進製程中的極紫外光(EUV)光刻技術,還是在提升封裝效能的3D IC技術中,氮氣與氧氣的應用範圍都在不斷擴展。超高純度的氣體供應是確保這些技術成功應用的基礎,而像聯華林德這樣擁有專業經驗的供應商,無疑是推動產業升級的重要推手。

隨著嘉義新廠的落成,聯華林德將進一步強化其在台灣半導體供應鏈中的地位,也為台灣半導體業者提供更多創新的支持。

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關鍵字:3D封裝3D IC