文／爱美科；编译／丘燕

源/汲极接触电阻：先进矽CMOS的技术瓶颈

源极/汲极是电晶体的接触电极，用来引入与移除载子（carriers）于电晶体的传导通道。传统的CMOS技术，利用金属导体（MS）接触特性，在金属侧具有过渡金属矽化物（例如镍矽化物），得以形成源极/汲极的接触电子。另一种普遍方式，是利用自对准矽化物制程，称为SALICIDE，让矽化物覆盖在整个源/汲极表面。
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