CMOS-MEMS设计实务简介

在上一期的文章中，已经将CMOS-MEMS技术的发展历程与应用现况做了简明扼要的介绍，以下将列举几个利用标准积体电路制程所制作之微机电装置以供读者参考：

射频微机电（RF MEMS）关键零组件之研制
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