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缺水的科技产业 如何解渴?
 

【作者: 謝馥芸】2003年09月05日 星期五

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2002及2003年的台湾旱象,一场反圣婴现象的灾难,仿若世纪初的地球气候乱象,不但民生用水渐渐不足,就连台湾的经济命脉-科技产业也要叫苦连天了。水,看似廉价品,当干旱来临时,更彰显出其珍贵处。尤其对业界而言,无水,制程又如何继续呢?


那么,水对科技业界有何用途?以晶圆厂为例,在所有的制程中,以炉管、蚀刻的需水量最大;由于制程中的晶圆需要大量的纯水清洗杂质,光在炉管与蚀刻等制程,所需的超纯水水量约占总水量的60%~80%。进入奈米制程后,制程需水量更是有增无减,然而用水规格高,普遍而言,目前大部分的纯化系统都不敷使用。


就目前二大需水量大的产业-半导体业与TFT-LCD研究,根据水利署资料显示,2002年半导体业一天用水量为9.3万吨,TFT-LCD业的一天用水量为6万吨;2006年时,国内半导体业用水量将成长为一天16.5万吨,而TFT-LCD业成长幅度更大,一天即达22.8万吨。


据了解,目前的新竹科学园区每日用水量约为11万吨,预计2004年最终用水量将为16万吨。自2002年台湾发生缺水的困境后,许多业者只能靠买水解决工厂运作问题,2003年的状况仍未比去年佳,若依照园区用水量的成长模式来看,2004年的旱象将更加严重,对我国产业不疑是一大打击。


根据国科会针对缺水对园区之影响分析,园区供水量不足10%,将通报缺水警讯;供水若不足20%时,近半数的制程机台将停止运作;一但供水达到30%以上,园区内大部分晶圆厂的机台势必完全停机,限水措施将严重冲击业界,造成无可计数的损失。


为解决缺水问题,我国产业节水研究最具代表性的单位,即为工研院能资所。能资所即与美国半导体产业技术研发中心(NSF/SRC ERC for Environmentally Benign Semiconductor Manufacturing)合作「奈米产业超精微制程省水及回用技术」,即强调二个特点,一为废水资源化,其二则是将制程水回收后用于奈米制程用水,预计使国内IC、LCD产业每年可节水500万吨,相当于四座12吋晶圆厂的建厂需水量。与业界合作方面,去年力晶半导体即与能资所合作「12吋晶圆厂奈米级水资源再生计画」,12吋晶圆厂总计耗资新台币10亿元以上,建置制程用水及废水回收处理设备,该公司并自订目标为85%的废水回收率。


随着半导体、TFT-LCD、奈米材料、生医科技、精密机械模具等产业迈向精微、奈米化的过程,其所需要的大量用水,将让台湾付出高昂的代价:要不就花大钱做一套节水措施,要不就准备一起渴死。积极的做法是做好节水系统,也可达到省水、环保的效果,为自己的厂房节省水成本;消极一点,则是想像自己是农人,得看老天吃饭,老天爷要是不下多点雨、刮几次夹带大雨的台雨,就得随时有心理准备配合政府的限水措施。往其他方面想,世界各地并不只有台湾缺水,所以公司外移也解决不了根本问题。最后的办法-不如去跳祈雨舞吧!


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