ASMPT 借助 Renishaw 光學尺技術強化高性能運動控制

在當今半導體產業的奈米級別發展下，後段製程設備面臨著精度、生產力和穩定性等挑戰。光學尺作為運動控制中至關重要的元件之一，需要不斷更新技術並推出新產品，以滿足市場的嚴苛要求。

圖一 : ASMPT新加坡總部，圖二為Renishaw光學尺系列

總部位於新加坡的 ASMPT 致力開發先進的半導體組裝和封裝設備，與 Renishaw合作已經超過 25 年，在光學尺產品應用、客製化方案和設備檢測方案等領域累積豐富的合作經驗；光學尺作為運動控制系統中的重要元件，規格必需不斷升級以滿足 ASMPT 因應市場的需求。

在選擇光學尺產品時，必須要考慮幾個關鍵要素：速度、抖動、光學尺體積，與安全和規性。為了滿足這些要求，光學尺廠商需要不斷研發創新，以提高速度、降低抖動、減小體積和重量，並確保產品符合相關的安全標準和驗證要求。而 ASMPT 多年來採用多款 Renishaw 光學尺產品，從 RGH 到 RESOLUTE 系列，再到近期的 ATOM DX 微型系列和 VIONiC 高性能系列等，應用在不同階段的後段製程設備上，包括 INFINITE 12 英寸晶片鍵合機，專為一般 IC 封裝而設計。
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