ASMPT 借助 Renishaw 光學尺技術強化高性能運動控制

在當今半導體產業的奈米級別發展下，後段製程設備面臨著精度、生產力和穩定性等挑戰。光學尺作為運動控制中至關重要的元件之一，需要不斷更新技術並推出新產品，以滿足市場的嚴苛要求。

圖一 : ASMPT新加坡總部，圖二為Renishaw光學尺系列

總部位於新加坡的 ASMPT 致力開發先進的半導體組裝和封裝設備，與 Renishaw合作已經超過 25 年，在光學尺產品應用、客製化方案和設備檢測方案等領域累積豐富的合作經驗；光學尺作為運動控制系統中的重要元件，規格必需不斷升級以滿足 ASMPT 因應市場的需求。

在選擇光學尺產品時，必須要考慮幾個關鍵要素：速度、抖動、光學尺體積，與安全和規性。為了滿足這些要求，光學尺廠商需要不斷研發創新，以提高速度、降低抖動、減小體積和重量，並確保產品符合相關的安全標準和驗證要求。而 ASMPT 多年來採用多款 Renishaw 光學尺產品，從 RGH 到 RESOLUTE 系列，再到近期的 ATOM DX 微型系列和 VIONiC 高性能系列等，應用在不同階段的後段製程設備上，包括 INFINITE 12 英寸晶片鍵合機，專為一般 IC 封裝而設計。

除了光學尺外，ASMPT 亦使用 Renishaw XL-80 雷射干涉儀和 XM-60 多光束校正儀等校正設備，在設備生產和定期預防性維護方面發揮著重要作用。例如，他們使用XL-80 雷射干涉儀進行檢測和校正，以確保設備在運作過程中的準確性和穩定性。此外，Renishaw XM-60 多光束校正儀具可以同時量測六個自由度的誤差，且只需進行一次設定。都有助於了解每台加工設備的精度等級和加工能力，確保設備的正確運作和生產效率。

ASMPT 研發部總裁蔡秉剛博士表示，可以預見光學尺的規格要求將會朝著高速度、高解析度和低訊號抖動的趨勢發展，對於控制器和光學尺來說都是一大挑戰，而 ASMPT從來沒有懷疑過 Renishaw 的實力，相信其能繼續提供合適的光學尺產品。

為了延續與 ASMPT 長期合作的成功經驗，讓更多業界夥伴深入了解精密量測技術於半導體產業的應用，Renishaw 將於 9 月 10 日至 12 日參加 SEMICON Taiwan 國際半導體展，誠摯邀請業界先進蒞臨展位，共同探索如何透過創新量測技術，邁向更高的製程精度與良率。

展覽訊息

‧ 展覽名稱：SEMICON Taiwan 國際半導體展

‧ 展覽日期：9月10 日(三) -12日(五)

‧ 展覽時間：9月10 -11日, 10:00-17:00；9月12日, 10:00-16:00

‧ 展出位置：【Renishaw】南港展覽館二館四樓 S7458 攤位

‧ 展出重點：涵蓋 ASMPT 所採用的運動控制光學尺與設備校正系統，並特別展出應用於材料分析的拉曼光譜儀。