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低温多晶硅生产线,厂商蕴酿
至明年底将出现19条生产线

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年11月07日 星期三

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国内专攻低温多晶硅TFT 量产的统宝光电指出,由于传统非晶硅TFT 的竞争将越趋激烈,许多日商逐渐将规划中的新生产线或是既有的旧线,逐渐转换成属于次世代技术的低温多晶硅TFT 线,估计到明年底为止,全球将出现多达十九条的低温多晶硅TFT生产线。

统宝光电执行副总吴逸蔚指出,在非晶硅产业方面受到台湾厂商的强力竞争之后,日商已经逐渐收敛过去积极对外技转的态度,并且有许多厂商开始在检讨技术外流的限制,不过可以确认的是,未来日商将会更加积极地在低温技术领域持续布局。

未来将陆续加入的低温多晶硅生产线中,日立位于茂原的V3生产线,目前已经进入传统非晶硅TFT 的量产,但是未来将会加入包括彩色滤光片与低温多晶硅TFT的设备,三星电子则是计划将位于器兴与天安的第二代与第三.五代非晶硅生产线逐渐改为低温制程。真正看好低温多晶硅市场,决定以全新生产线进入量产的,仅有AFPD与ST、统宝光电。

關鍵字: 低溫多晶矽 
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