半导体材料业者罗门哈斯电子材料的研磨技术部门(Rohm and Haas Electronic Materials CMP Technologies)宣布,一家主要的12吋晶圆厂采用该公司所生产的铜和阻挡层CMP 研磨剂之后,大幅提高了高阶制程的总产量。
罗门哈斯指出,该12吋晶圆厂导入该公司EPL2361 铜研磨剂和 CUS1351 阻挡层研磨剂,并配合罗门哈斯的研磨垫及在CMP技术工程师现场协助下所开发的技术之后,除提高了120和90nm技术节点的总产量,也使得凹陷、磨蚀以及与 CMP 相关的缺陷减少了50%以上,寿命延长了300% 以上。
CUS1351是罗门哈斯生产的阻挡层 CMP 研磨剂。EPL2361 是由长兴化学工业生产的铜CMP研磨剂;长兴化工与罗门哈斯为战略结盟伙伴。以上两种研磨剂都能透过通过罗门哈斯电子购买。罗门哈斯电子材料CMP 技术部门总部设于亚利桑那州的凤凰城,并在全球开展业务,包括在特拉华州纽渥克市和日本的三重县和奈良县的制造业务。