Veeco(威科)今天宣布推出TurboDisc EPIK700氮化镓(GaN)有机金属化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;MOCVD)系统,以低运作成本结合业界最高生产效率和优异的良率,有效降低LED制造成本,带动一般照明应用。
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EPIK700 MOCVD系统采用Veeco成熟的TurboDisc技术,拥有业界最大型的长晶炉,其产能为目前长晶炉的2倍以上。这款全新系统不仅增加了容量,同时在长晶炉内提供全新均匀性和先进的生产功能,其处理量是前一代长晶炉的2.5倍。
Veeco执行副总裁William J. Miller博士表示:「EPIK700是我们的最新力作,这款优异的系统拥有先进技术的MOCVD长晶炉。它可进一步降低LED制造成本,同时能提升生产效率,协助客户在固态照明市场成功达成目标。」
Veeco在2010年推出TurboDisc K465i GaN MOCVD系统以来,即持续为其客户降低拥有成本,成为全球领先的MOCVD设备供货商。Veeco并于2011年推出业界首款多长晶炉MOCVD系统,也就是备受好评的TurboDisc MaxBright MOCVD系统。此外,自2011年至2013年, Veeco的MOCVD TurboDisc技术每年都获得LED产业协会肯定为业界最佳技术。
Veeco MOCVD事业部资深副总裁暨总经理Jim Jenson表示:「EPIK700再次为LED产业带来革命性的创新,颠覆业者既有的做法。除了提供更高的产能和产量外,全新系统的长晶炉拥有多项独家技术,可增加波长的均匀性,为客户在更小的bin误差范围内提升生产率。此系统结合众多优点,包括先进TurboDisc长晶炉设计、通过验证的自动化技术、更高的生产力、低损耗成本和节省空间等,为客户大幅降低了设备的持有成本。」
根据最近的IHS研究报告显示,在中国、日本、北美和欧洲等主要市场预期LED的占有率到2016年可达15%,而到了2020年时其占有率可望加倍成长至40%。