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提供更具弹性与生展力之图形描绘机
专访Micronic产品经理Axel Von Sydow

【作者: 王岫晨】2006年07月06日 星期四

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Micronic Laser Systems是位于瑞典的研发、制造雷射光罩图形描绘机供应商,专事研发、制造和行销用于光罩生产的高精准度雷射图形描绘机,其核心技术即为微影技术( microlithography)。 Micronic的产品目前主要应用于全球许多电子公司的电视和电脑显示器,半导体电路以及半导体封装零件的制造上。其总部位于瑞典斯德哥尔摩北部的Taby,目前在美国、日本、韩国与台湾都设有分公司。


《图一 Micronic产品经理Axel Von Sydow》
《图一 Micronic产品经理Axel Von Sydow》

在使用Micronic产品的客户群,已有120家厂商分部于全球各地,其中日本占有50%为最多,其次是亚洲地区30%,美国15%与欧洲的5%。 Micronic近期发表了FPS5100雷射图形描绘机。这套系统是专为先进电子封装、被动矩阵TN/STN LCD和其它大面积应用所提供的全新光罩量产工具。其FPS分别代表了弹性(Flexibility)、生产力(Productivity)与稳定性(Stability)之缩写,这正是Micronic希望提供给客户的产品优势。


Micronic产品经理暨总监Axel Von Sydow表示,具备弹性、生产力与稳定性等优势的FPS5100,是以大面积显示器光罩应用的业界标准Micronic LRS图形描绘机为基础,可为光罩制造厂商提供非常低的持有成本、更快速的作业完成时间(turn-around time)和更简单的生产规划。此外,该产品拥有速度达每分钟1万2000mm2极高产出效率,与小至0.4μm的主写入网格(writing grid)。FPS5100与Micronic LRS15000先进光罩系列相辅相成,可强化Micronic为成熟显示器和先进封装应用提供的产品线。


FPS5100主要之应用领域包括BGA’s与PCB等封装技术、TN/STN LCD面板、CF/TFT的七代生产线光罩、OLED与被动式显示器等显示器应用,以及化学铣切(chemical milling)之应用等。 FPS5100以高效能氩离子(Kr)雷射提高资料写入传输量。以其弹性而言,三种不同的解析度可提供影像品质,而整个平台更可让光罩的描绘面积最大可达900×1200mm2。该设备以最少的资源符合最多的应用处理状况。该平台之自动填充系统、缺陷最佳化与可自动调整之光学仪器,均使得该平台适用于企业用户各种相异之需求。


此外,FPS5100以3 beams的平行写入技术,明显降低了描绘仪器的写入时间,并提高了写入的资料量,在高速写入模式下,最高可达每分钟1万2000mm2,比正常之写入资料量多出两倍。


Axel Von Sydow指出,FPS5100为光罩厂商提供了具备弹性、生产力与稳定性之雷射图形描绘机,而有鉴于台湾已经成为全球TFT LCD面板生产重镇,Micronic的产品非常适合用于大尺寸面板之光罩描绘应用上。预计未来随着台湾TFT LCD面板的出货量持续增加,Micronic在台湾的描绘机市占率也将持续成长。


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