噴墨技術多年發展以來，多半用於個人及辦公室電腦週邊產品，如印表機、傳真機、多功能事務機、相片印表機等；而近年來任意點列印（drop-on-demand）之噴墨頭出現是主要的列印技術，特別是針對工業應用之方面，以取代部分半導體製程，並節省材料成本。本文則是以NI（National Instruments） LabVIEW 6.1作為發展系統，結合了噴墨頭驅動、精密定位控制、影像處理、訊號擷取與處理等技術，發展出目前以LabVIEW開發的第一套工業用噴墨列印平台，可應用於次世代顯示器高分子有機發光二極體（PLED）、液晶顯示器之關鍵零組件彩色濾光片（color filter）、有機薄膜電晶體（OTFT）、微機電（MEMS）元件製作、生物晶片（Biochip）、印刷電路板（PCB）等新領域；並成功的利用此系統噴印出PLED、color filter、OTFT、PCB等產品；參考(圖一)。

《圖一　噴墨系統照片》 注釋:本圖中可以看出此系統包括：電路板、工業電腦、電氣箱、加熱平台與其上方的雷射位移計、鏡筒、噴墨模組等。

系統簡介

此噴墨系統主要建構於三軸X-Y-θ平台16之上，如(圖二)，而Area CCD 10、一組噴墨頭11以馬達連接手動微調平台固定於機械式支撐座14，利用馬達使噴墨頭11在Z方向的運動以控制噴墨頭與基板間距。一組噴墨頭在現有硬體架構上可以配備四顆承載相同材料或不同材料之噴墨頭，在基板17上方。馬達15（每一軸一個）連接至移動平台以驅動基板17 X-Y-θ方向的移動。在圖二中，X軸被定義為平行支撐座14，Y軸定義為垂直支撐座14，Z軸被定義為噴墨頭在支撐座上之軸。X，Y軸都裝配有5相步進馬達，微步進解析度為0.5μm、最大移動速度為5 in/s。而Z軸配備有兩相步進馬達。旋轉平台（X-Y平面）可控制基板17之θ軸定位，旋轉範圍±3°、每一步解析度0.01°。然而，CCD13讀取對位標誌位置以對正基板放置的偏差，標誌預先被做在基板上。元件10、11 、12 、13固定於支撐座14上都是可調整的。此設備被支撐於花崗岩（AA Grade）基座上，有四個振動隔離器來吸收振動。所有的製程的操作都由PC-based的控制器控制（如圖二中之工業電腦所示）。本系統藉由平台移動，固定噴墨頭與CCD，達到定點對位、隨機與定位噴墨、基板觀測與測量等功能。
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