CMOS-MEMS設計實務簡介

在上一期的文章中，已經將CMOS-MEMS技術的發展歷程與應用現況做了簡明扼要的介紹，以下將列舉幾個利用標準積體電路製程所製作之微機電裝置以供讀者參考：

射頻微機電（RF MEMS）關鍵零組件之研製
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