我国积极发展本土IC与平面显示器（FPD）设备产业，目前已有显著成果；在经济部工业局长亲自率团赴日招商之后，已有东京电子、日本真空、芝浦及Harison东芝等至少四家业者，有意来台投资、扩大投资或技术合作。

据工商时报报导，我国半导体及平面显示器设备年采购商机超过2000亿元以上，但国内自给率仅约5％至7％，目前以相关制程设备产业最欠缺；我国计画在2006年提高自给率到25％，日前经济部工业局长陈昭义并亲自率团赴日招商，积极争取日本设备厂商来台投资。

目前正评估台湾及中国大陆市场发展潜力的东京电子，已初步同意扩大在台的服务功能，并考虑来台投资的可能性。而在民国86年曾计画来台投资的日本真空，因台湾合作厂商财务困难，等了三年未果，只好到南韩投资，成为当地FPD设备第一大厂；目前该公司来台投资设厂意愿相当高，将以FPD为主、IC为辅。

此外在陈昭义见证下，我国均豪精密与日本芝浦株式会社签约技术合作，项目有IC晶黏机及FPD设备，将可明显提升我国设备自给率。