据经济日报报导，工研院电子所表示，联电已允诺捐赠价值7000万元的化学机构研磨机（CMP）模组二部机台，提供电子所「奈米电子共同实验室」做为下一世代奈米电子相关技术之研发，并规划在7月份进行机台迁入作业。

目前工研院奈米电子共同实验室拥有CMOS后段铜制程的大部分机台，并陆续建置磁性材料、相变化材料专属的溅镀机、蚀刻机、及电子束读写机等先进机台中，提供使用者联盟厂商进行磁性记忆体（MRAM）、相变化记忆体（OUM）、形变矽元件、高介电质闸极介电物等技术的开发。

电子所所长徐爵民表示，电子所在进行先进技术的研发历程中，一直与国内外厂商有密切的合作关系，过去半导体制造厂、半导体材料与设备等业者，都有提供机台予电子所实验室使用；此种研究单位与产业界共同开发前瞻技术、未来实际应用于产业界的合作模式，对于国内半导体产业发展，可说贡献良多。