台湾半导体设备暨材料展（SEMICON Taiwan 2004）15日闭幕，会场传出微影设备大厂ASML与Nikon接获英特尔新订单，也将与内存大厂美光与晶圆大厂台积电在微影设备上进行合作，此外英飞凌也将与暐贳科技（Aviza）合作，采用该公司原子层沉积（ALD）设备。

暐贳亚洲区副总裁周雷琪表示，12吋晶圆设备已经进入成熟期，暐贳早期与英飞凌合作，发展DRAM设备，其中的ALD设备一次可以容量二个板，产出时间大幅减少40％。周雷琪表示，12吋厂到90奈米制程，甚至是65奈米制程的设备都已经开出到一个阶段，设备厂商的下一个挑战会出现在45奈米制程以下，而第四季开始，晶圆厂商因为设备成熟以及市场驱动，将会出现产能采购的设备订单。

美光亦表示，将透过与ASML Mask Tools的合作，提升美光在显影技术的能力，也将采购ASML的曝光机台以维持美光在95奈米以下技术的领导地位，并扩大到显影的知识产权（IP）。