账号:
密码:
最新动态
产业快讯
CTIMES/SmartAuto / 新闻 /
为MEMS产业打造测量标准
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2013年05月08日 星期三

浏览人次:【3253】

随着微机电系统(MEMS)快速拓展在消费产业中的应用,标准的MEMS组件测量方法有助提高MEMS组件测试效率,减少成本和测试时间,并促进不同制造商之间的产品互操作性。美国国家标准与技术研究院(NIST)稍早前推出新的测量工具,能协助MEMS组件设计师、制造商测量MEMS组件的关键8维参数和材料特性。

新的NIST测试芯片能促进不同制造商之间的产品互操作性。(图片来源:NIST) BigPic:347x239
新的NIST测试芯片能促进不同制造商之间的产品互操作性。(图片来源:NIST) BigPic:347x239

MEMS最初的主要应用是汽车安全气囊的加速度计,而今它已扩展到广大的消电子市场,特别是高阶智能手机,平均每一部智能手机使用10颗MEMS组件,包括麦克风、加速度传感器和陀螺仪等。另外,MEMS组件也已经在平板计算机、游戏机、芯片实验室诊断系统、显示器和植入式医疗设备中扮演重要角色。据市调公司Yole预估,全球MEMS产业营将从2011年的100亿美元成长到2017年的210亿美元。

NIST开发的成果是全新的测试芯片(参考设备8096和8097),8096测试芯片采用IC制程生产,而8097测试芯片利用MEMS制程生产。据表示,新的NIST参考设备是一种微机械结构,未来还将整合微型悬臂、梁、梯型构件、微米级尺度以及可用于测量表层厚度的测试结构。具体而言,NIST的测试芯片可用于检测组件是否符合国际标准的测量弹性(即杨氏模量)、残余应变(应力)、应变(和应力)梯度,以及厚度、阶梯高度和长度。

NIST表示所有参数和材料特性的测量均符合国际半导体设备与材料协会(SEMI)和美国测试与材料协会(ASTM)的国际标准测试方法。新的测试芯片可对来自不同实验室或企业由不同设备制作的MEMS组件进行准确的比对,让实验室或企业更容易对制程和校准仪器进行特征化和故障排除。

關鍵字: MEMS 
相关新闻
ADI举办2022年实体科技展 以四大主轴提高边缘生产力
中华精测迈向集团化 设立测冠投资、扬弈科技
[自动化展]安驰科技以ADI解决方案实现智慧工业应用
ST:LBS是实现AR眼镜应用的最佳技术
Toposens携手英飞凌 推出新型MEMS超音波3D感测器
comments powered by Disqus
相关讨论
  相关文章
» 智慧型水耕蔬菜云端控制系统
» 云端语音辨识
» 塑胶圆形医疗连接器选择指南
» 『后摩尔时代 翻转智能新未来』技术论坛会后报导
» 未来工厂的智慧制造架构


刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3  v3.20.1.HK83T5KD43USTACUKA
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw