近日日本半导体设备制造商Tokyo Electron（TEL）在上海张江园区内扩建东电半导体公司，总面积将达1万8800平方公尺，计划2006年底将增加半导体制造设备、FPD制造设备等业务，并展开新一波的人力资源培训。张江高科技园区开发公司总经理戴海波及Tokyo Electron社长东哲郎同时出席发布仪式。

2002年4月东电半导体设备公司成立于上海，由于预期大陆半导体生产设备市场，将随手机的IT相关设备的快速普及后成长，该公司决定增加对大陆的投资。 2003年新年一开始，已经有一些积极活动的迹象。 Investec半导体设备市场分析师Timothy Summers表示，2003年第一季TEL的订单，预计将比2002年第四季大幅增加。