Advanced Energy发布下一代稳定和可重复的精密射频功率电源系统，协助客户在下一代半导体制造中扩大产出和收益。eVerest射频讯号产生器专为埃米时代蚀刻和沉积制程所需的精确电浆控制而打造，能够支援高度可配置的多阶层功率脉冲，从而整合到任何现有电浆功率输送系统中并改进这些系统。该平台提供3至10千瓦的输出功率和1至60兆赫的频率，并能带来高达100千赫的高精度宽脉冲频率。

此外，并提供高速输出设定值回应、过渡状态之间的受控过冲，以及能存取复杂物联网资料生态系统的功能，使制造商能够开发用於sub-2 nm沉积和蚀刻剖面的先进、可重复制程。

Advanced Energy负责电浆功率产品的资深??总裁Juergen Braun表示：「半导体产业的使命是经由日渐小型化的晶片提供更隹的性能，而我们现正迈向埃米时代，日渐复杂的3D结构和创新制程可以用原子尺度测量尺寸。」Advanced Energy因应埃米时代装置制造商对变革性高精度电浆控制的需求，增加制程视窗，扩大稳定的操作范围，而尽量扩大产出和收益。

eVerest是完整的射频功率输送系统，具有适用於阻抗匹配解决方案的多种选择，并可与其他Advanced Energy的创新产品智慧同步化，从而促成即时或用户定义的过渡步骤时序控制，以促进蚀刻和沉积动力学的最隹化。eVerest的高速射频输出回应低於200μs，脉冲状态上升/下降时间可低至2μs以下。多阶层脉冲的动态控制为能量状态和分布开辟各种新的可能性。

当与PowerInsight by Advanced Energy物联网资料生态系统整合时，以eVerest为基础的解决方案允许操作人员存取高解析度、高频宽的嵌入式或系统级资料，以支援更快、更正确的制程特性和故障排除，并且无需进入电浆腔体安装示波器，从而减少停机时间。